লিথোগ্রাফি হল একটি ডিজাইন করা প্যাটার্নকে সরাসরি বা একটি মধ্যবর্তী মাধ্যমের মাধ্যমে একটি সমতল পৃষ্ঠে স্থানান্তর করার একটি কৌশল, পৃষ্ঠের এমন এলাকাগুলি বাদ দিয়ে যেখানে প্যাটার্নের প্রয়োজন হয় না। মুখোশ লিথোগ্রাফিতে, নকশাগুলি একটি সাবস্ট্রেটে মুদ্রিত হয় এবং a দিয়ে উন্মুক্ত করা হয়লেজারযাতে জমা উপাদান দূরে খোদাই করা হয়, আরও প্রক্রিয়াকরণের জন্য প্রস্তুত। এই লিথোগ্রাফি পদ্ধতিটি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারের ব্যাপক উত্পাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। একটি ওয়েফারে ছোট বৈশিষ্ট্যগুলির তীক্ষ্ণ চিত্রগুলি প্রজেক্ট করার ক্ষমতা ব্যবহৃত আলোর তরঙ্গদৈর্ঘ্য দ্বারা সীমাবদ্ধ। সবচেয়ে উন্নত লিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলি আজ গভীর অতিবেগুনী আলো (DUV) ব্যবহার করে এবং ভবিষ্যতে এই তরঙ্গদৈর্ঘ্যগুলি গভীর অতিবেগুনী (193 এনএম), ভ্যাকুয়াম অতিবেগুনী (157 এনএম এবং 122 এনএম), এবং চরম অতিবেগুনী (47 এনএম এবং 13 এনএম) বিস্তৃত হতে থাকবে। ) জটিল পণ্য এবং IC, MEMS এবং বায়োমেডিকেল বাজারের জন্য ঘন ঘন নকশা পরিবর্তন -- যেখানে বিভিন্ন ধরনের ফাংশন এবং সাবস্ট্রেট আকারের চাহিদা বাড়ছে -- উৎপাদনের পরিমাণ হ্রাস করার সাথে সাথে এই উচ্চ কাস্টমাইজড সমাধানগুলির উত্পাদন খরচ বাড়িয়েছে। ঐতিহ্যগত মুখোশ-ভিত্তিক (মাস্ক) লিথোগ্রাফি সমাধানগুলি এই অ্যাপ্লিকেশনগুলির অনেকগুলির জন্য সাশ্রয়ী বা ব্যবহারিক নয়, যেখানে প্রচুর পরিমাণে মাস্ক কিটগুলি ডিজাইন এবং তৈরি করতে প্রয়োজনীয় খরচ এবং সময় দ্রুত বৃদ্ধি পেতে পারে। যাইহোক, মুখোশবিহীন লিথোগ্রাফি অ্যাপ্লিকেশনগুলি অত্যন্ত সংক্ষিপ্ত UV তরঙ্গদৈর্ঘ্যের প্রয়োজন দ্বারা বাধাগ্রস্ত হয় না এবং পরিবর্তে ব্যবহার করেলেজারনীল এবং UV রেঞ্জের উত্স। মুখোশবিহীন লিথোগ্রাফিতে,লেজারআলোক সংবেদনশীল পদার্থের পৃষ্ঠে সরাসরি মাইক্রো/ন্যানো কাঠামো তৈরি করে। এই বহুমুখী লিথোগ্রাফি পদ্ধতিটি মুখোশের ভোগ্য সামগ্রীর উপর নির্ভর করে না এবং লেআউট পরিবর্তনগুলি দ্রুত করা যেতে পারে। ফলস্বরূপ, বৃহত্তর এলাকা কভারেজের সুবিধা (যেমন 300 মিমি সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে বা পিসিবিএস) বজায় রাখার সাথে সাথে বৃহত্তর ডিজাইনের নমনীয়তার সাথে দ্রুত প্রোটোটাইপিং এবং বিকাশ সহজ হয়ে যায়। দ্রুত উৎপাদনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে,লেজারমুখোশবিহীন লিথোগ্রাফির জন্য ব্যবহৃত মাস্ক অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ব্যবহৃত বৈশিষ্ট্যগুলির অনুরূপ বৈশিষ্ট্য রয়েছে: ক্রমাগত তরঙ্গ আলোর উত্সের দীর্ঘমেয়াদী শক্তি এবং তরঙ্গদৈর্ঘ্যের স্থায়িত্ব, সংকীর্ণ লাইন প্রস্থ এবং মুখোশের ছোট পরিবর্তন রয়েছে। অল্প রক্ষণাবেক্ষণ বা উত্পাদন চক্রের বাধা সহ দীর্ঘ-জীবনের স্থিতিশীলতা উভয় অ্যাপ্লিকেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ। DPSS লেজারের অতি-স্থিতিশীল সংকীর্ণ লাইনউইথ, তরঙ্গদৈর্ঘ্য স্থায়িত্ব এবং শক্তি স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং এটি দুটি লিথোগ্রাফি পদ্ধতির জন্য উপযুক্ত। আমরা অতুলনীয় তরঙ্গদৈর্ঘ্য স্থায়িত্ব, সংকীর্ণ রেখার প্রস্থ এবং দীর্ঘ শুষ্ক দৈর্ঘ্যের তরঙ্গদৈর্ঘ্য পরিসীমার উপর একটি ছোট পদচিহ্ন সহ উচ্চ-শক্তি, একক-ফ্রিকোয়েন্সি লেজারগুলি ডিজাইন এবং তৈরি করি -- যা বিদ্যমান সিস্টেমে একীকরণের জন্য আদর্শ করে তোলে।
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
